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Imec und ASML unterzeichnen Memorandum of Understanding (MOU) zur Unterstützung der Halbleiterforschung und nachhaltigen Innovation in Europa

Jun 22, 2024

Imec und ASML unterzeichnen Memorandum of Understanding (MOU) zur Unterstützung der Halbleiterforschung und nachhaltigen Innovation in EuropaASML leistet ein erhebliches Engagement inimecsZukunfthochmoderner PilotLinie

Leuven (Belgien) und Veldhoven (Niederlande), 28. Juni 2023 – Imec, ein führendes Forschungs- und Innovationszentrum für Nanoelektronik und digitale Technologien, und ASML Holding NV (ASML), ein führender Zulieferer der Halbleiterindustrie, geben heute bekannt, dass sie beabsichtigen, ihre Zusammenarbeit in der nächsten Phase der Entwicklung einer hochmodernen Lithographie-Pilotlinie für extremes Ultraviolett (EUV) mit hoher numerischer Apertur (High-NA) bei imec zu intensivieren.

Die Pilotlinie soll den Branchen, die Halbleitertechnologien einsetzen, dabei helfen, die Möglichkeiten zu verstehen, die fortschrittliche Halbleitertechnologie mit sich bringen kann, und Zugang zu einer Prototyping-Plattform zu erhalten, die ihre Innovationen unterstützt. Die Zusammenarbeit zwischen imec, ASML und anderen Partnern wird die Erforschung neuartiger Halbleiteranwendungen, die potenzielle Entwicklung nachhaltiger, hochmoderner Fertigungslösungen für Chiphersteller und Endverbraucher sowie die Entwicklung fortschrittlicher ganzheitlicher Strukturierungsabläufe in Zusammenarbeit mit dem ermöglichen Ausrüstung und materielles Ökosystem.

Das heute unterzeichnete Memorandum of Understanding umfasst die Installation und Wartung der gesamten ASML-Palette an fortschrittlichen Lithografie- und Messgeräten in der imec-Pilotlinie in Leuven, Belgien, wie z. B. das neueste Modell 0,55 NA EUV (TWINSCAN EXE:5200) und die neuesten Modelle 0,33 NA EUV (TWINSCAN NXE:3800), DUV-Immersion (TWINSCAN NXT:2100i), optische Yieldstar-Messtechnik und HMI-Mehrstrahl. Das beabsichtigte Engagement stellt einen sehr bedeutenden Wert in der fortgeschrittenen Pilotlinie dar.

Diese bahnbrechende neue High-NA-Technologie ist entscheidend für die Entwicklung leistungsstarker, energieeffizienter Chips, wie zum Beispiel KI-Systeme der nächsten Generation. Es ermöglicht auch innovative Deep-Tech-Lösungen, die zur Bewältigung einiger der großen Herausforderungen unserer Gesellschaft eingesetzt werden könnten, beispielsweise in den Bereichen Gesundheitswesen, Ernährung, Mobilität/Automobilindustrie, Klimawandel und nachhaltige Energie. Es sind erhebliche Investitionen erforderlich, um den branchenweiten Zugang zur High-NA-EUV-Lithographie über 2025 hinaus sicherzustellen und die damit verbundenen Forschungs- und Entwicklungskapazitäten für fortgeschrittene Knotenprozesse in Europa zu erhalten.

Dieses Memorandum of Understanding leitet die nächste Phase der intensiven Zusammenarbeit zwischen ASML und imec im Bereich High-NA EUV ein. Die erste Phase der Prozessforschung wird im gemeinsamen High-NA-Labor von imec und ASML unter Verwendung des ersten High-NA-EUV-Scanners (TWINSCAN EXE:5000) durchgeführt. Imec und ASML arbeiten mit allen führenden Chipherstellern sowie Partnern im Material- und Ausrüstungsökosystem zusammen, mit dem Ziel, die Technologie für die schnellstmögliche Einführung in die Massenfertigung vorzubereiten. In der nächsten Phase werden diese Aktivitäten in der imec-Pilotlinie in Leuven (Belgien) am High-NA EUV-Scanner der nächsten Generation (TWINSCAN EXE:5200) verstärkt.

Die intensivierten Kooperationspläne der beiden Halbleiterunternehmen in den Bereichen Lithographie und Messtechnik stehen im Einklang mit den Ambitionen und Plänen der Europäischen Kommission und ihrer Mitgliedsstaaten (Chips Act, IPCEI), um Innovationen zur Bewältigung gesellschaftlicher Herausforderungen zu stärken. Ein Teil der Zusammenarbeit zwischen imec und ASML ist daher in einem IPCEI-Vorschlag festgehalten, der derzeit von der niederländischen Regierung geprüft wird.

„ASML leistet in der hochmodernen Pilotfabrik von imec ein erhebliches Engagement, um die Halbleiterforschung und nachhaltige Innovation in Europa zu unterstützen. Da sich künstliche Intelligenz (KI) schnell in Bereiche wie die Verarbeitung natürlicher Sprache, Computer Vision und autonome Systeme ausdehnt, nimmt die Komplexität der Aufgaben zu. Daher ist es von entscheidender Bedeutung, eine Chiptechnologie zu entwickeln, die diese Rechenanforderungen erfüllen kann, ohne die kostbaren (Energie-)Ressourcen des Planeten zu erschöpfen“, sagte Peter Wennink, Präsident und Chief Executive Officer von ASML.

„Dieses Engagement von ASML, das auf über 30 Jahren erfolgreicher Zusammenarbeit aufbaut, sendet ein starkes Signal unseres unerschütterlichen Engagements, die Weiterentwicklung der Sub-Nanometer-Chiptechnologie voranzutreiben“, kommentierte Luc Van den Hove, Präsident und Chief Executive Officer von imec. „Diese Zusammenarbeit ist ein Beweis für die Stärke, die in der Einheit innerhalb der Chipindustrie liegt. Während diese Projekte es uns zunächst ermöglichen, unsere regionalen Stärken zu stärken, ebnen sie auch den Weg für zukünftige globale Zusammenarbeit, sodass Partner weltweit von lokalen Durchbrüchen profitieren können. Durch diese gemeinsamen Anstrengungen können wir Innovationen wirklich beschleunigen und die Halbleiterindustrie zu neuen Höhen führen.“

Imec Media Relations-KontaktJade Liu, internationale Pressesprecherin // T +32 16 28 16 93 // M +32 495 71 74 52 // [email protected]

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Über imec Imec ist ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für Nanoelektronik und digitale Technologien. Imec nutzt seine hochmoderne F&E-Infrastruktur und sein Team aus mehr als 5.500 Mitarbeitern und Spitzenforschern für Forschung und Entwicklung in den Bereichen fortschrittliche Halbleiter- und Systemskalierung, Siliziumphotonik, künstliche Intelligenz, über 5G hinausgehende Kommunikations- und Sensortechnologien sowie in Anwendungsbereichen wie Gesundheit und Biowissenschaften, Mobilität, Industrie 4.0, Agrarlebensmittel, intelligente Städte, nachhaltige Energie, Bildung usw. Imec vereint weltweit führende Unternehmen der Halbleiter-Wertschöpfungskette sowie in Flandern ansässige und internationale Technologie-, Pharma-, Medizin- und IKT-Unternehmen -ups sowie Hochschulen und Wissenszentren. Imec hat seinen Hauptsitz in Leuven (Belgien) und verfügt über Forschungsstandorte in ganz Belgien, den Niederlanden und den USA sowie Vertretungen auf drei Kontinenten. Im Jahr 2022 belief sich der Umsatz (GuV) von imec auf 846 Millionen Euro. Weitere Informationen zu imec finden Sie unter www.imec-int.com.

Über ASML ASML ist ein führender Zulieferer der Halbleiterindustrie. Das Unternehmen stellt Chipherstellern Hardware, Software und Dienstleistungen zur Massenproduktion der Muster integrierter Schaltkreise (Mikrochips) zur Verfügung. Gemeinsam mit seinen Partnern treibt ASML die Entwicklung erschwinglicherer, leistungsfähigerer und energieeffizienterer Mikrochips voran. ASML ermöglicht bahnbrechende Technologien zur Lösung einiger der größten Herausforderungen der Menschheit, beispielsweise in den Bereichen Gesundheitswesen, Energienutzung und -einsparung, Mobilität und Landwirtschaft. ASML ist ein multinationales Unternehmen mit Hauptsitz in Veldhoven, Niederlande, und Niederlassungen in ganz Europa, den USA und Asien. Jeden Tag stellen die mehr als 40.500 Mitarbeiter (VZÄ) von ASML den Status Quo in Frage und bringen die Technologie an neue Grenzen. ASML wird an der Euronext Amsterdam und der NASDAQ unter dem Symbol ASML gehandelt. Entdecken Sie ASML – unsere Produkte, Technologie und Karrieremöglichkeiten – unter www.asml.com.

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